телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
Компания OST Photonics предлагает пластины монокристаллического кварца SAW-класса различных размеров и толщин. Диаметр пластин варьируется от 3 до 8 дюймов. Толщина варьируема в соответствии с требованиями клиента (обычно более 0.08 мм). Ориентация пластин: X/Y/Z/AT32/AT33/AT36/BT/ST42.75 и т.д. Кроме того, доступны высококачественные кварцевые заготовки (включая левосторонние).
| Материал | Кристалл кварца | |||
| Угол резки | X/Y/Z/AT32/AT33/AT36/BT/ST42.75 и т.д. | |||
| Диаметр | 3”(76. мм) | 4” (100 мм) | 6"(150 мм) | 8"(200 мм) |
| Допуск по диаметру (±) | ≤0.20 мм | |||
| Толщина | ≥0.08 мм | ≥0.10 мм | ≥0.20 мм | ≥0.35 мм |
| Основная длина | 22 мм | 32 мм | 42.5 мм | 57.5 мм |
| LTV (5x5 мм) | <1 мкм | |||
| TTV | <3 мкм | |||
| Bow | -30<bow<30 | |||
| Отклонение | <40 мкм | |||
| PLTV(<0.5 мкм) | ≥95%(5*5 мм) за вычетом 2 мм кромки | |||
| Ориентация | В соответствии со стандартами или запросом клиента | |||
| Тип поверхности | Односторонняя полировка (SSP) / двухсторонняя полировка (DSP) | |||
| Полированная сторона | <0.5 нм | |||
| Критерии обратной стороны | Как правило, 0.2-0.5 мкм, или произвольно | |||
| Краевые критерии | В соответствии со стандартом SEMI M1.2/см. IEC62276 | |||
| Свойства материала | ECD | Лучше 4 класса | ||
| Включения | Лучше 2 класса | |||
| Добротность | Лучше класса C | |||
| Критерии поверхности пластины | Частицы φ>0.3 мкм | <= 30 | ||
| Царапины, сколы | Нет | |||
| Дефекты | Нет трещин, царапин, следов спиливания, пятен | |||
| Паковка | Кол-во/Коробка | 25 шт на коробку | ||
| Наименование | Кварцевая заготовка |
| Материалы | Чистые слитки Z и Y типа |
| Синтетическая добротность | Мин. 1.8x10^6, 2.4x10^6 to 3.0x10^6 IEC |
| Плотность каналов травления | Макс. 10/см2, Макс. 30/см2, Макс. 100/см2, Макс. 100/см2, Макс. 300/см2; |
| Плотность включений | Ia, Ib, I, II, III |
| Тип резки | AT, BT, CT, DT, GT, NT, FC, SC, IT и т.д. |
| Допуск по углу (±) | Угол тета: ±5″, ±10″, ±15″, ±30″, ±1′, ±2′ и т.д. |
| Угол фи:±5′, ±10′, ±15′, ±30′и т.д. | |
| Диаметр круглой заготовки | От 3.0 до 50.80 мм (с плоской частью) |
| Размер квадратной заготовки | 1.6x1.6 мм ~ 38x38 мм |
| Размер заготовки SMD | 1.2x2.4 мм, Выше – по выбору клиента |
| Допуск диаметра/размера (±) | ±0.01 мм |
| Частота | От 1 до 54 Мгц для AT - вырезания основного тона; до 70 МГц при методе травления |
| Плоскость | По запросу плоскость может быть перпендикулярна оси X в пределах ±10 градусов. |
| Отделка поверхности | #1000(9u); #2000(7u); #3000(5u); #4000(3u) (Sic); Полировка (Оксид церия) и стандартное травление |
| Гармоника | Фундаментальная; Третья гармоника (3); Пятая гармоника (5) |
| Контурирование (диоптрийное) | Плоско-выпуклое: 0.5 диоптрий ~ 10 диоптрий, Двояковыпуклое: 10 диоптрий ~ 15 диоптрий |
| Плотность, г/см3 | 2.65 |
| Точка плавления, °C | 1467 |
| Теплопроводность, W/(m x K) (T = 25°C) | 10.7 (параллельно оси Z) 6.2 (перпендикулярно оси Z) |
| Температурный коэффициент линейного расширения в диапазоне температур 0-25 Ñ, C-1 | 7.1 õ 10-6 (параллельно оси Z) |
| 13.2 õ 10-6 (перпендикулярно оси Z) | |
| Твёрдость (Мо) | 7 |
| Удельная теплоёмкость, J/(кг x K) (T = 25°C) | 710 |
| Диэлектрическая проницаемость при 30 МГц | 4.34 (параллельно оси Z) 4.27 (перпендикулярно оси Z) |
| Модуль Юнга (Е), ГПа | 97.2 (параллельно оси Z) 76.5 (перпендикулярно оси Z) |
| Модуль сдвига (G), ГПа | 31.14 |
| Модуль объемной упругости (К), ГПа | 36.4 |
| Химическая стабильность | Нерастворим в воде |
| Коэффициенты эластичности | C11=87 C12=7 C44=58 C13=13 C14=18 C33=106 |
| l, мм | n0 | ne | l, мм | n0 | ne | l, мм | n0 | ne |
| 0.185 | 1.676 | 1.69 | 0.243 | 1.605 | 1.617 | 0.589 | 1.544 | 1.553 |
| 0.194 | 1.66 | 1.673 | 0.263 | 1.593 | 1.604 | 1.083 | 1.534 | 1.543 |
| 0.204 | 1.643 | 1.656 | 0.291 | 1.581 | 1.591 | 1.8 | 1.524 | 1.532 |
| 0.219 | 1.625 | 1.637 | 0.34 | 1.567 | 1.577 | 2.5 | 1.512 | 1.52 |
| 0.231 | 1.614 | 1.626 | 0.405 | 1.557 | 1.567 | 3 | 1.5 | 1.507 |
а) Количество дефектов и примесей в синтетическом кварце зависит от скорости роста, минерализатора и исходного материала. Скорость роста существенно влияет на такие важные свойства, как коэффициент поглощения инфракрасного излучения α, коррелирующий с добротностью (Q), и частотно-температурные характеристики. Более высокая скорость роста приводит к увеличению α, уменьшению добротности (Q) и дисперсии частотно-температурных характеристик.
б) Индексом качества синтетического кварцевого резонатора изначально была величина Q, и для её получения применялся кварцевый резонатор с частотой 5 МГц, работающий в режиме 5-го обертона. Однако изготовление резонатора с частотой 5 МГц потребовало трудоёмкой работы, поэтому вместо Q индекс был изменён на коэффициент α.
а) Двойникование: в рабочей области не должно быть электрического или оптического двойникования.
б) Деформация: деформаций не должно быть ни внутри, ни на поверхности затравочного кристалла, а также в выращенном кристалле кварца.
в) Трещины и изломы: в рабочей области не должно быть трещин, сколов и изломов.
г) Плотность включений: соответственно IEC 60758.
| Диапазон размеров | Кол-во на см3 | |||
| Класс (мкм) | от 10 до 30 | от 30 до 70 | от 70 до 100 | >100 |
| Ia | 2 | 1 | 0 | 0 |
| Ib | 3 | 2 | 1 | 1 |
| I | 6 | 4 | 2 | 2 |
| II | 9 | 5 | 4 | 3 |
| III | 12 | 8 | 6 | 4 |
| Степень | Макс. α3585 Расчётные значения добротности | (x 106) |
| A | 0.015 | 3.8 |
| A | 0.024 | 3 |
| B | 0.05 | 2.4 |
| C | 0.069 | 1.8 |
| D | 0.1 | 1.4 |
| Класс | Макс. кол-во на см3 |
| 1 | 10 |
| 2 | 30 |
| 3 | 100 |
| 4 | 300 |
| 5 | 600 |
a) Углы:
