Кремниевые пластины OST Photonics




Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
Компания OST Photonics предлагает широкий выбор кремниевых пластин для полупроводниковой промышленности. Диаметр пластин варьируется от 2 дюймов (50.8 мм) до 12 дюймов (300 мм) с тремя ориентациями кристаллов на выбор: <100>, <111> и <110>. Толщина также может варьироваться в соответствии с требованиями клиента. Кроме того, по запросу доступны пластины оксидного кремния, изготовленные на заказ кремниевые подложки и кремниевые слитки.
Параметр | Характеристики | ||||||
Диаметр | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" | 8" | 12" |
Класс | Высший, тестовый, макетный | ||||||
Метод выращивания | CZ | ||||||
Ориентация | <100>,<111>,<110>, и т.д. | ||||||
Тип / Легирующая примесь | P-type / Борон, N-type / Фосфор, N-type / As, N-type / Sb | ||||||
Толщина (мкм) | 279 | 380 | 525 | 625 | 675 | 725 | 775 |
Допуск по толщине | Стандарт ±25 мкм, Макс. возможности ±5 мкм | ± 20 мкм | ± 20 мкм | ||||
Удельное сопротивление (Ом-см) | 0.001-100 | ||||||
Поверхность | Полированная / Травленая, Полированная / Полированная, травлёная / Травленая, Шлифованная / Шлифованная | ||||||
TTV (мкм) | Стандарт < 10 мкм, Макс. возможности <5 мкм | ||||||
Bow / Отклонение (мкм) | Стандарт < 40 мкм, Макс. возможности <20 мкм | <40 мкм | <40 мкм | ||||
Частицы | <10 @ 0.5 мкм; <10 @ 0.3 мкм; <10 @ 0.2 мкм |
Параметры | Характеристики | |||||
Диаметр | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" | 8" |
Класс | Высший, тестовый, макетный | |||||
Метод выращивания | FZ | |||||
Ориентация | <100>,<111>, и т.д. | |||||
Тип / Легирующая примесь | Собственная, P-type / Бор, N-type / Фосфор | |||||
Толщина (мкм) | 279 | 380 | 525 | 625 | 675 | 725 |
Допуск по толщине | Стандарт ±25 мкм | ± 50 мкм | ||||
Удельное сопротивление (Ом-см) | 1000-30000 и 1-5 | |||||
Поверхность | Полированная / Травленая, Полированная / Полированная, травлёная / Травленая, Шлифованная / Шлифованная | |||||
TTV (мкм) | Стандарт < 10 мкм | |||||
Bow / Отклонение (мкм) | Стандарт < 40 мкм | <50 мкм | ||||
Частицы | <10 @ 0.3 мкм |
Параметр | Характеристика | ||||||
Димаетр | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" | 8” | 12” |
Класс | Высший, тестовый, макетный | ||||||
Метод выращивания | CZ, FZ | ||||||
Ориентация | <100>,<111>,<110>, и т.д. | ||||||
Тип / Легирующая примесь | Собственная, P-type / Борон, N-type / Фосфор, N-type / As, N-type / Sb | ||||||
Толщина (мкм) | 279 | 380 | 525 | 625 | 675 | 725 | 775 |
Допуск по толщине | Стандарт ±25 мкм, Макс. возможности ±5 мкм | ± 20 мкм | ± 20 мкм | ||||
Толщина оксида (нм) | 20-2000 | ||||||
Удельное сопротивление (Ом-см) | 0.001-30000 | ||||||
Поверхность | Полированная / Травленая, Полированная / Полированная | ||||||
TTV (мкм) | Стандарт < 10 мкм, Макс. возможности<5 мкм | ||||||
Bow / Отклонение (мкм) | Стандарт < 40um, Макс. возможности <20 мкм | <40 мкм | <40 мкм | ||||
Частицы | <10 @ 0.5 мкм; <10 @ 0.3 мкм; <10 @ 0.2 мкм |
Параметр | Характеристика | |||||
Димаетр | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" | 8" |
Класс | Высший, тестовый, макетный | |||||
Метод выращивания | CZ, FZ | |||||
Ориентация | <100>,<111>,<110>, и т.д. | |||||
Тип / Легирующая примесь | Собственная, P-type / Борон, N-type / Фосфор, N-type / As, N-type / Sb | |||||
Содержание кислорода | 8-18 ppma | |||||
Содержание углерода | >1 ppma | |||||
Удельное сопротивление (Ом-см) | 0.001-30000 Ом-см | |||||
Время распада | >50 мкс |